溅射技术是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
溅射镀膜作为真空镀膜的三种工艺之一,广泛应用于光伏、TFT-LCD等现代工业。溅射靶材对纯度有较高的要求,一般钨钼溅射靶材要求纯度达到99.95%以上,并且具有良好的密度和耐腐蚀性。
| 项目 | Power密度(W/cm2) | 基板温度(℃) | 成膜Rate(A·m/min) | 比电阻@2000A(μΩcm) |
| 格美钼靶 | 5.0 | 100.0 | 342.8 | 11.7 |
格美公司可以提供TFT-LCD及太阳能所有的钨、钼合金溅射靶材。
产品材料:钨、钼、钨钼合金以及钼铌合金
产品种类:板靶和管靶
| 加工范围 | 厚度/直径(mm) | 宽度(mm) | 长度(mm) | 粗糙度(mm) |
| G4.5~11.5代靶材 | 1.5~40 | 1.0~2500.00 | 1.0~4000.00 | Ra0.2~6.4 |
| 钼管靶 | 120~170 | / | 3500 | Ra0.2~6.4 |



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